Quy trình máy ozone tạo ra khí ozone bằng phương pháp phóng điện hào quang

1. Điện áp cao để tạo ozone 3000v đến 4000v được đặt ở cuối 2 điện cực. 

2. Trong ống ozon inox 304 có nhiều ống thạch anh có lưới phóng điện, bán kính cong của điện cực lưới phóng điện rất nhỏ dễ tích tụ điện tích tạo ra điện trường năng lượng cao làm ion hóa không khí hoặc oxy

3. Không khí hoặc oxy đi dọc theo bề mặt hình trụ của ống thạch anh từ trên xuống dưới và bị ion hóa một phần và có công thức từ O2 + e có năng lượng cao thành O và O và e có năng lượng thấp

4. Khi nguyên tử O gặp O2, chúng sẽ trở thành O3. O + O2 + M = O3 + M + nhiệt

Chú ý, sự phóng điện hào quang tạo ra trong khoảng trống của bề mặt bên ngoài của ống thạch anh và ống ozone bằng thép không gỉ 304, và ở đó O2 sẽ lànguyên tử O, sau đó gặp O2 thành O3

Cuối cùng, O3 là đầu ra ở cuối ống ozone bằng thép không gỉ, cũng ở dưới cùng của ống thạch anh.